基本信息
| 标准名称： | 硅--蓝宝石外延片 |
| 英文名称： | Silicon on sapphire epitaxial wafers |
| 中标分类： | 电子元器件与信息技术 >> 电子设备专用材料、零件、结构件 >> 电子技术专用材料 |
| ICS分类： | |
| 发布部门： | 国家技术监督局 |
| 发布日期： | 1992-01-02 |
| 实施日期： | 1993-08-01 |
| 首发日期： | 1992-12-28 |
| 作废日期： | 1900-01-01 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 天津半导体技术研究所 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2004-08-10 |
| 页数： | 平装16开， 页数：8， 字数：12千字 |
| 书号： | 155066.1-9656 |
适用范围
本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。
前言
没有内容
目录
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引用标准
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所属分类： 电子元器件与信息技术 电子设备专用材料 零件 结构件 电子技术专用材料